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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体行业电源芯片生产九正通明在晶圆加工治理全过程中,在使用硅烷去硅外延性生长发育,废气排放洗涤剂塔诞生高有机废气浓度含硅废污水。废污水具备有pH起伏大(2-11)、硅的含量高的显著特点,经典治理的办法易产生硅垢阻塞方面。 污废水 营养成分及种类 废渣主要组分为: 融掉性硅酸盐 :SiO₂密度达1000-1500mg/L 硫酸钠/氢氧化的钠 :清洗塔酸性清洗液余留 粉末硅 :納米级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 :塑料原材料钙镁离子带进去 补救工序具体步骤 科学创新分为"两极与+膜油烟净化器+挥发析出"加工过程: 考试内容一级中合 :用CaO缓解pH至4-5,制成硅酸钙积累,硅清掉率60%。 五级结合 :加Na₂CO₃将pH增强至9,进这一步凝固剩于硅,电容串联用镁剂除砷。 反渗透膜设计 :0.02μm卫浴陶瓷膜进行过滤纳米技术级硅粉末,通量相对稳定在80LMH。 MVR冷却器器 :浓缩提炼高盐电镀废水,结晶体出Na₂SO₄副物品,水循环率超90%。 从而的效果 总硅从1500mg/L调至5mg/L下面的 砷水分含量从0.8mg/L减至0.01mg/L 体统无结渣正常运行大于2年 年均回笼硝酸钠钠尖晶石约800吨

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