某半导体行业电源芯片生产九正通明在晶圆加工治理全过程中,在使用硅烷去硅外延性生长发育,废气排放洗涤剂塔诞生高有机废气浓度含硅废污水。废污水具备有pH起伏大(2-11)、硅的含量高的显著特点,经典治理的办法易产生硅垢阻塞方面。
污废水 营养成分及种类
废渣主要组分为:
融掉性硅酸盐
:SiO₂密度达1000-1500mg/L
硫酸钠/氢氧化的钠
:清洗塔酸性清洗液余留
粉末硅
:納米级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:塑料原材料钙镁离子带进去
补救工序具体步骤
科学创新分为"两极与+膜油烟净化器+挥发析出"加工过程:
考试内容一级中合
:用CaO缓解pH至4-5,制成硅酸钙积累,硅清掉率60%。
五级结合
:加Na₂CO₃将pH增强至9,进这一步凝固剩于硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透膜设计
:0.02μm卫浴陶瓷膜进行过滤纳米技术级硅粉末,通量相对稳定在80LMH。
MVR冷却器器
:浓缩提炼高盐电镀废水,结晶体出Na₂SO₄副物品,水循环率超90%。
从而的效果
总硅从1500mg/L调至5mg/L下面的
砷水分含量从0.8mg/L减至0.01mg/L
体统无结渣正常运行大于2年
年均回笼硝酸钠钠尖晶石约800吨