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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆分娩线配套工程的超纯净水软件,每一天引发含硅废渣150吨。废渣中虽无血本属,但硅含量的高易结渣,且电容率需做到18MΩ·cm才能够造纸废水操作。本来的操作工艺设备没办法够满足新发布的《电子器材化工业水危害物废气的排放规范标准》(GB39731-2020)独特废气的排放允许值。 工业废水因素作用 常见被污渍 :电解质溶液硅(200-300mg/L)、顆粒硅(孔径0.1-1μm) 唯一性需要 :TOC<10μg/L,硼量<5μg/L 水的硬度特征 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅单质行态繁多 操作加工过程生产工艺 技术创新按照"梯级膜隔离+电去化合物"搭配的工艺: 微滤预治疗 :1μm瓷砖膜短信拦截大小粒硅,通量确保80LMH 铁离子对调硅胶粘合剂 :D201大孔不饱和树脂选定 性溶解硅酸分子结构 二次元RO软件 :首要段收购 率60%,第二个段应用高脱硼膜零件 EDI电去铁离子 :直流电容重2A/m²,持续保持出掉的残留物阳离子 太阳光的紫外线消毒杀菌 :254nmUV紫外线服用量40mJ/cm² 技艺重点 开发管理特用阻硅剂(设计胺类结合物),减轻膜被污染过渡期3倍 EDI功能改革创新流道设计的概念,硅我们要除率加快至99.8% 迅雷在线硅分折仪(衡量条件0.1-500μg/L)保证 优质控制 进行工作成效 经其几方面测试: 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼含铁从8μg/L高于0.3μg/L 操作系统回笼率从原40%提高了至68% 膜调换时间间隔延缓至5年,年行驶成本费降底35%

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