该厂为8厘米晶圆分娩线配套工程的超纯净水软件,每一天引发含硅废渣150吨。废渣中虽无血本属,但硅含量的高易结渣,且电容率需做到18MΩ·cm才能够造纸废水操作。本来的操作工艺设备没办法够满足新发布的《电子器材化工业水危害物废气的排放规范标准》(GB39731-2020)独特废气的排放允许值。
工业废水因素作用
常见被污渍
:电解质溶液硅(200-300mg/L)、顆粒硅(孔径0.1-1μm)
唯一性需要
:TOC<10μg/L,硼量<5μg/L
水的硬度特征
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅单质行态繁多
操作加工过程生产工艺
技术创新按照"梯级膜隔离+电去化合物"搭配的工艺:
微滤预治疗
:1μm瓷砖膜短信拦截大小粒硅,通量确保80LMH
铁离子对调硅胶粘合剂
:D201大孔不饱和树脂选定 性溶解硅酸分子结构
二次元RO软件
:首要段收购 率60%,第二个段应用高脱硼膜零件
EDI电去铁离子
:直流电容重2A/m²,持续保持出掉的残留物阳离子
太阳光的紫外线消毒杀菌
:254nmUV紫外线服用量40mJ/cm²
技艺重点
开发管理特用阻硅剂(设计胺类结合物),减轻膜被污染过渡期3倍
EDI功能改革创新流道设计的概念,硅我们要除率加快至99.8%
迅雷在线硅分折仪(衡量条件0.1-500μg/L)保证 优质控制
进行工作成效
经其几方面测试:
总硅从280mg/L高于0.05mg/L
硼含铁从8μg/L高于0.3μg/L
操作系统回笼率从原40%提高了至68%
膜调换时间间隔延缓至5年,年行驶成本费降底35%