该晶圆生產销售生產销售商处在华中位置,关键生產销售8寸大半导体技术晶圆,单日化工废水排卸量约800吨。根据生產销售阶段中运行一大批氢佛酸去晶圆蚀刻,促使化工废底层的水中氟化物质量浓度达到200-300mg/L,远超政府排卸规则(10mg/L下面的)。
焦化废水成份及源于
废水处理方法一般源于这三个关键点:
晶圆蚀刻工艺技术
:含高渗透压氟化物(HF)、硝酸银及大量血本属
化学反应机械设备打磨抛光(CMP)污废水
:含奈米级硅粒状、有机物络合剂
专用设备除垢废水处理工艺
:含异丙醇、化学需氧量等有机会物
进行处理流量流量
进行"生物积累+混疑积累+深度.过滤器"三级职业资格证书除理装置:
五级处理
:加药系统氯化钙和氢氧化物钙,进行氟化钙凝固,氟化物删去率达85%
三级净化处理
:修改PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),清理胶体溶液态生态破坏物
三类处理
:采用多媒质油烟净化器器和化学活化炭粘附,水流氟化物密度维持在8mg/L低于
重点装备具有:pH自功调低系统的、斜管凝固池、板框压泥机(淤泥脱水怎么办)。
终究功能
创业项目自动运行5年监测方案数据报告显现:
氟化物均衡有机废气浓度:7.2mg/L(降至国标准的)
COD我们要除率:92%
淤泥水分含量率:≤65%
年运用氟化钙副类产品约150吨,达成能源化运用