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某中型半导体电子器件研发工厂地属珠三角地区型的地区,最主要的研发晶圆和电子器件。在研发过程中中,晶圆水刀切割和cnc精密机械加工的时候有大量研磨抛光液生活污水,平均摆放量上涨约50吨。基于生活污水里包含有高渗透压自动隐藏物、金属材质阴阳离子及充分使用剂,会直接摆放会对区域构成情况严重影响,工厂急求建筑专业性工作设施设备。
污废水 营养成分及种类
考虑液废水处理工艺注意来源地于晶圆手工加工中的电化学机械化磨光(CMP)步骤,注意污染问题物比如:
浮动粉尘物
:二被钝化硅、被钝化铝等机磨颗粒肥料,粒度分布在0.1-1μm,密度自由高达2000mg/L。
金属材料化合物
:铜、铁、锌等,是来自于抛光处理垫划痕及晶圆表面上合金金属层,铜化合物酸度约50mg/L。
巧妙获取剂
:收录漆层抗逆性剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱平衡性的物质
:pH值价格波动大,往往在2-11两者之间。
正确处理方法流量
共性废污水性能特点,选择“预处里+生化学+淬硬层处里”组合公式加工制作工艺 :
调池
:教育均衡发展水环境需水量,修改酸性可以调节pH至中性化。
水泥混凝土沉淀自己
:加药系统PAC(缔合氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),快速清理悬停物和氢氧化铁,沉降后SS快速清理率>90%。
崔化阳极氧化
:按照Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)可降解充分移除剂,COD出掉率达60%。
动物操作
:MBR膜微生物反馈器进几步生物降解已用生产物,COD降落到100mg/L低于。
铝离子交易
:专业聚酯树脂过滤铜化合物,有水出铜占比<0.5mg/L。
砂滤+活力性炭过滤程序
:保证 水流清新,完成《污水储存基础性排放口的标准单位》(GB8978-1996)三级的标准单位。
后面郊果
系统工作可靠后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铁离子<0.3mg/L。
造纸生活污水处理率达40%,多余未挥发性有机物量,年以减少生活污水尾气排放量1.7万吨。
除理资金约15元/吨,远高出市场均值。